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北京首條8英寸集成電路產(chǎn)線上梁,目標(biāo)月產(chǎn)能5萬(wàn)片
分類:半導(dǎo)體瀏覽量:300 TAG:

4月15日,列入2018年北京科創(chuàng)中心建設(shè)重點(diǎn)項(xiàng)目清單的燕東微電子8英寸集成電路研發(fā)產(chǎn)業(yè)化及封測(cè)平臺(tái)項(xiàng)目舉辦上梁儀式,該項(xiàng)目預(yù)計(jì)于今年底在開(kāi)發(fā)區(qū)投產(chǎn)。


這也是今年上半年以來(lái),繼科益虹源自主研發(fā)設(shè)計(jì)生產(chǎn)的首臺(tái)高能準(zhǔn)分子激光器順利通過(guò)出廠驗(yàn)收、北方華創(chuàng)二期投入使用、威訊封測(cè)擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目簽約……北京亦莊集成電路產(chǎn)業(yè)再次取得的豐碩成果。據(jù)悉,該項(xiàng)目將是北京首條大規(guī)模量產(chǎn)8英寸集成電路產(chǎn)線,主要生產(chǎn)8英寸線寬達(dá)0.11um集成電路芯片及其封裝后的產(chǎn)品,預(yù)計(jì)量產(chǎn)后月產(chǎn)能可達(dá)到5萬(wàn)片。同時(shí),該項(xiàng)目也是北京首條大規(guī)模量產(chǎn)8英寸線,通過(guò)與國(guó)際頂尖驅(qū)動(dòng)電路、功率器件廠商合作,建成國(guó)內(nèi)技術(shù)最先進(jìn)的特色工藝產(chǎn)線,為北京地區(qū)設(shè)計(jì)企業(yè)、科研院所提供試制平臺(tái),為裝備和材料企業(yè)提供驗(yàn)證平臺(tái),有助于加快北京打造全國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新中心。


成果轉(zhuǎn)化落地一直是開(kāi)發(fā)區(qū)的特色之一,作為三城一區(qū)的一“區(qū)”,北京亦莊承接了三大科學(xué)城的科技成果轉(zhuǎn)化工作。燕東項(xiàng)目并不是個(gè)例,今年3月底,北京科益虹源光電技術(shù)有限公司自主研發(fā)設(shè)計(jì)生產(chǎn)的首臺(tái)高能準(zhǔn)分子激光器順利通過(guò)出廠驗(yàn)收。這款產(chǎn)品填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在準(zhǔn)分子激光技術(shù)領(lǐng)域的空白,打破了國(guó)外廠家對(duì)該技術(shù)產(chǎn)品的長(zhǎng)期市場(chǎng)壟斷。樣機(jī)完成相關(guān)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證后,將開(kāi)始向上海微電子裝備集團(tuán)提供訂單。


在為企業(yè)提供強(qiáng)大的服務(wù)之外,開(kāi)發(fā)區(qū)更是為集成電路企業(yè)發(fā)展提供了強(qiáng)有力的資金支持,建立了以亦莊國(guó)投為核心的集成電路投融資體系,共參與集成電路產(chǎn)業(yè)基金12只,基金總規(guī)模超過(guò)1600億元,亦莊國(guó)投認(rèn)繳出資規(guī)模超過(guò)160億元,重點(diǎn)參與國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(國(guó)家級(jí))、北京集成電路制造和裝備子基金(北京市級(jí))、北京集成電路設(shè)計(jì)與封測(cè)子基金(北京市級(jí))、與全球第三的面板廠京東方合作設(shè)立芯動(dòng)能投資基金、與芯片設(shè)計(jì)新興企業(yè)集創(chuàng)北方合作設(shè)立屹唐長(zhǎng)厚投資基金等。


開(kāi)發(fā)區(qū)積極創(chuàng)建全球化布局,依托亦莊國(guó)投投融資平臺(tái),組織資金開(kāi)展海外項(xiàng)目并購(gòu),實(shí)現(xiàn)集成電路產(chǎn)業(yè)先進(jìn)項(xiàng)目和技術(shù)引進(jìn),成功引進(jìn)芯成半導(dǎo)體(ISSI)、豪威科技(OV)、瑪特森(Mattson)設(shè)備公司和瑞典Silex(MEMS晶圓代工廠)等海外集成電路產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)企業(yè),有助于我國(guó)在存儲(chǔ)器、圖像傳感器芯片、半導(dǎo)體裝備、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))等關(guān)鍵領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)彎道超車,并填補(bǔ)國(guó)內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)空白。


優(yōu)質(zhì)的環(huán)境帶來(lái)了產(chǎn)業(yè)的快速聚集。近年來(lái),開(kāi)發(fā)區(qū)的集成電路產(chǎn)業(yè)取得了重大的進(jìn)展和突破,已聚集上下游企業(yè)近100家,產(chǎn)業(yè)鏈條日趨完善,重點(diǎn)企業(yè)工業(yè)產(chǎn)值總量由2013年的125.7億元增長(zhǎng)到2017年的215.6億元,年均增速17.8%。


在集成電路設(shè)計(jì)環(huán)節(jié),隨著集創(chuàng)北方的入駐以及向產(chǎn)業(yè)鏈下游的延伸,設(shè)計(jì)企業(yè)與京東方、中芯國(guó)際核心企業(yè)合作更加緊密,虛擬IDM的模式得到強(qiáng)化和突破。加之我區(qū)之前落戶的英飛凌、華夏芯、兆易創(chuàng)新等公司在內(nèi)的一批國(guó)內(nèi)外知名的集成電路設(shè)計(jì)企業(yè),有利于構(gòu)建“芯片-軟件-整機(jī)-系統(tǒng)-信息服務(wù)”大集成電路自主生態(tài)系統(tǒng)。


在晶圓制造環(huán)節(jié),以中芯北方為代表的12英寸晶圓生產(chǎn)線,以燕東微電子為代表的8英寸特色工藝線和以納微矽磊為代表的MEMS傳感器芯片生產(chǎn)線相繼落戶并開(kāi)工建設(shè)。其中,中芯北方B2項(xiàng)目擴(kuò)產(chǎn)后將與B1項(xiàng)目形成總計(jì)12萬(wàn)片/月的12英寸晶圓高端產(chǎn)能,工藝節(jié)點(diǎn)橫跨130-14納米,成為國(guó)內(nèi)規(guī)模最大、技術(shù)最先進(jìn)的集成電路生產(chǎn)基地,未來(lái)還將繼續(xù)擴(kuò)產(chǎn)至30萬(wàn)片/月的巨大產(chǎn)能;燕東8英寸線項(xiàng)目將成為北京首條大規(guī)模量產(chǎn)8英寸線,是12英寸晶圓生產(chǎn)線的重要補(bǔ)充,為北京地區(qū)設(shè)計(jì)企業(yè)、科研院所提供試制平臺(tái),為裝備和材料企業(yè)提供驗(yàn)證平臺(tái)。納微矽磊計(jì)劃引進(jìn)13項(xiàng)業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的MEMS工程化綜合應(yīng)用核心工藝和27組共200余項(xiàng)國(guó)際專利,形成MEMS產(chǎn)品研發(fā)制造平臺(tái)和生產(chǎn)管理體系,建成北京市首條引領(lǐng)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的MEMS代工生產(chǎn)線,填補(bǔ)國(guó)內(nèi)純MEMS體硅工藝代工線空白。


在封裝測(cè)試環(huán)節(jié),威訊聯(lián)合半導(dǎo)體有限公司(Qorvo)是一家集設(shè)計(jì)、開(kāi)發(fā)及生產(chǎn)“射頻”集成電路產(chǎn)品為一體的美國(guó)獨(dú)資企業(yè),產(chǎn)品用于無(wú)線通訊的射頻集成電路放大裝置(RFICs)和信號(hào)處理傳輸設(shè)備,公司是全球功頻放大器產(chǎn)品的主要供貨商,致力于開(kāi)拓地方無(wú)線局域網(wǎng)(WLAN)及藍(lán)牙無(wú)線技術(shù)產(chǎn)品的市場(chǎng)。威訊擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目已正式落戶開(kāi)發(fā)區(qū),項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后,開(kāi)發(fā)區(qū)將新誕生一家百億級(jí)企業(yè)。同時(shí),開(kāi)發(fā)區(qū)正在積極引進(jìn)具備行業(yè)先進(jìn)技術(shù)的封測(cè)項(xiàng)目,繼續(xù)提升開(kāi)發(fā)區(qū)集成電路封測(cè)能力。


在設(shè)備制造環(huán)節(jié),在原已形成的以北方華創(chuàng)為代表的半導(dǎo)體高端裝備的基礎(chǔ)上,近年來(lái)重點(diǎn)引進(jìn)了以科益虹源、華卓精科、東方晶源為代表的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)零部件集群。其中,北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司致力于打造高端半導(dǎo)體工藝裝備及核心零部件的研發(fā)與制造基地,成功開(kāi)發(fā)以刻蝕設(shè)備(ETCH)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備(CVD)、物理氣相沉積設(shè)備(PVD)三大類半導(dǎo)體裝備產(chǎn)品為基礎(chǔ)的20余類產(chǎn)品,成功替代國(guó)外廠商同類產(chǎn)品,部分產(chǎn)品正式進(jìn)入海外主流芯片生產(chǎn)線。北京科益虹源光電技術(shù)有限公司全面開(kāi)展國(guó)家02專項(xiàng)28nm浸沒(méi)式曝光光源項(xiàng)目開(kāi)發(fā),完成了193nm工程樣機(jī)的實(shí)驗(yàn);北京華卓精科科技股份有限公司生產(chǎn)的光刻機(jī)工件臺(tái)填補(bǔ)國(guó)內(nèi)光刻機(jī)關(guān)鍵零部件研發(fā)和制造領(lǐng)域空白,具有獨(dú)占和不可替代的優(yōu)勢(shì)地位,為下一步北京市開(kāi)展光刻機(jī)整機(jī)研制奠定基礎(chǔ)。東方晶源微電子科技有限公司承擔(dān)02專項(xiàng)任務(wù),完成了首臺(tái)國(guó)產(chǎn)多功能電子束圖形檢測(cè)系統(tǒng)的系統(tǒng)集成,達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

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